|
| مكان المنشأ: | الولايات المتحدة الأمريكية |
| اسم العلامة التجارية: | ASM |
| إصدار الشهادات: | CO.CQ |
| رقم الموديل: | LVC414 |
LVC414 ASM جهاز تحكم بخار سائل LVC 414
| العلامة التجارية / الشركة المصنعة | ASM / USA |
| رقم القطعة |
LVC414 |
| رقم الجزء البديل |
LVC414 |
| وصف | تحكم بخار سائل |
| الأبعاد | 6.3 سم × 11.4 سم × 15.0 سم |
| وزن | 0.55 كجم |
تفاصيل المنتج
تم تصميم وحدة التحكم في المرذاذ الإلكترونية LVC-414 لقياس والتحكم بدقة
معدل تدفق الكتلة (جرام / دقيقة) من مواد المنشطات عن طريق تغيير تدفق الغاز الناقل من خلال أ
فقاعات تحتوي على المواد المصدر.
Source materials include SiCl4, SiHCl3, POCl13, GeCl4 and BBr3. تشمل المواد المصدر SiCl4 و SiHCl3 و POCl13 و GeCl4 و BBr3. Other doping material can يمكن استخدام مواد منشطات أخرى
يمكن التحكم فيها أيضًا ، بشرط أن تتبخر بتركيز مناسب للدقة
ratiodetection. نسبة الجرعات. Carrier gases include H2, He, N2, O2 and Ar. تشمل الغازات الحاملة H2 و He و N2 و O2 و Ar.
يتم توفير ثلاثة مخرجات:
المصدر (0 إلى + 5 فولت تيار مستمر).
شركة النقل (0 إلى + 5 فولت تيار مستمر)
النسبة (0 إلى + 5 فولت تيار مستمر).
يمكن مراقبة هذه المخرجات بأي الفولتميتر 5 فولت DC بحساسية 1000
ohms/volt or more. أوم / فولت أو أكثر. A built-in valve varies the carrier mass flow rate to control the source يغير الصمام المدمج معدل تدفق كتلة الناقل للتحكم في المصدر
gram/min. غرام / دقيقة. selected by an external control voltage. مختارة بواسطة جهد تحكم خارجي.
مجموعة صغيرة واحدة تحتوي على قسم مقياس التدفق وكاشف النسبة وصمام التحكم و
الإلكترونيات
مواصفات
الحد الأدنى من تدفق الغاز الناقل: 5٪ من الحد الأقصى
MAXIMUM SOURCE FLOW: Up to 40 grams/min. الحد الأقصى لتدفق المصدر: حتى 40 جرام / دقيقة. full scale مقياس كامل
نطاق ضغط التشغيل: فرق 10-40 رطل لكل بوصة مربعة
ضغط الغاز الأقصى: 60 رطل لكل بوصة مربعة
نطاق درجة حرارة الغازات والمحيطات: 60-90 درجة فهرنهايت (15-35 درجة مئوية) حتى 43 درجة مئوية عند الطلب الخاص
الرد: من 10 ثوانٍ إلى 4٪ من النقطة المحددة
الغازات الحاملة: الهيدروجين ، الهليوم ، النيتروجين ، الأكسجين أو الأرجون ، والغاز المختلط
التكرار: ± 0.5٪ من النطاق الكامل
حساسية الضغط: ± 0.25٪ من الحجم الكامل للضغوط من 10 إلى 40 رطل / بوصة مربعة
الدقة والخطورة: ± 4.0٪ من النطاق الكامل على كامل نطاق التشغيل
إعداد الأوامر: 0.1 إلى 5 فولت تيار مستمر
إشارة الإخراج:
1. المصدر: 0.1-5 vdc يتناسب خطياً مع معدل تدفق كتلة السائل المتبخر
2. الناقل: 0.1-5 vdc يتناسب خطياً مع معدل تدفق الكتلة للغاز الحامل
3. النسبة: 0.1-5 vdc يتناسب خطياً مع نسبة تدفق البخار (SCCM) إلى تدفق الناقل
(SCCM) تم قياسه باستخدام 5 vdc = 50٪
مقاومة الإخراج: 10 أوم كحد أقصى
RIPPLE: 50 mv pp كحد أقصى
المزيد من المنتجات
| GE | DS200PCCAG5ACB | إيمرسون | KJ1611X1-EF1 |
| GE | DS200RTBAG3AEB | إيمرسون | KJ1700X1-BA1 |
| GE | DS200SBCBG1ADC | إيمرسون | KJ1710X1-BA1 |
| GE | DS200SVAAG1A | إيمرسون | KJ1740X1-BA1 |
| GE | DS3800HIOA1C1E | إيمرسون | KJ2001X1-BA1 |
| GE | DS3800NDAC1D1E | إيمرسون | KJ2002X1-BA1 |
| HMS | M00279 3266-140 | FOXBORO | FBM 223 |
| HMS | ABC-PDP AB7000-B | FOXBORO | FBM231 |
| HMS | AB7000-C | FOXBORO | FBM242 |
| IAI | DS-S-C1-L DSSC1LDS | FOXBORO | FCM10E |
| IAI | PDR-I-200L-2 | FOXBORO | P0903CW |
اتصل بنا
miya@mvme.cn(انقر)
البريد الإلكتروني: miya@mvme.cn
ف ف: 2851195450
هاتف: 86-18020776792
سكايب: miyazheng52
